---
# System prepended metadata

title: ゲートバルブ (真空バルブ)
tags: [バルブ]

---

# ゲートバルブ (真空バルブ)
###### tags: `バルブ`

<span>　</span>真空と大気もしくは圧力が異なる真空空間をゲートで隔離しシールを行う機能を有するバルブ. 弁体の動作方向により逆圧仕様・同圧仕様・正圧仕様の３つに分類される. 駆動部には手動式・圧空差動式が存在する. 

| 仕様 | 特徴 |
| -------- | -------- |
| 逆圧     | 真空側から大気側に向かって弁体をシールさせる     |
| 同圧     | ほぼ同じ圧力の２つの空間を弁体によって遮蔽     |
| 正圧     | 大気側から真空側に向かって弁体をシールさせる     |

### Note
<span>　</span>Toroidal装置では高真空バルブ(高真空ゲートバルブ)としてTMP-チェンバー間で圧空差動式を使用. 

参考：入江工研株式会社
https://www.ikc.co.jp/technical/valve/whats_valve.html