# ゲートバルブ (真空バルブ) ###### tags: `バルブ` <span> </span>真空と大気もしくは圧力が異なる真空空間をゲートで隔離しシールを行う機能を有するバルブ. 弁体の動作方向により逆圧仕様・同圧仕様・正圧仕様の3つに分類される. 駆動部には手動式・圧空差動式が存在する. | 仕様 | 特徴 | | -------- | -------- | | 逆圧 | 真空側から大気側に向かって弁体をシールさせる | | 同圧 | ほぼ同じ圧力の2つの空間を弁体によって遮蔽 | | 正圧 | 大気側から真空側に向かって弁体をシールさせる | ### Note <span> </span>Toroidal装置では高真空バルブ(高真空ゲートバルブ)としてTMP-チェンバー間で圧空差動式を使用. 参考:入江工研株式会社 https://www.ikc.co.jp/technical/valve/whats_valve.html