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tags: 微機電系統導論
title: Chapter 2
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1.
1. 基礎積體電路製程
1. Deposition and Growth
1. 產生薄層在矽基底表面
1. 兩種沉積方法
1. 物理氣相沉積PVD
1. 蒸發
1. 濺鍍
1. 化學氣相沉積CVD
1. LPCVD(低壓)
1. PECVD(等離子體增強)
1. 成長

# 駱昶旭你什麼時後要開始寫

:::danger
我好想讀你寫的微機電筆記
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