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title: Untitled

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pN2を開ける
クリーンルームに入ったら，酸素濃度計を ON にする. 
分電盤 [18-1LP-15-1(動力)](設置場所は研 C118 見取り図参照) のブレーカー [電気炉] を ON にする. 
電気炉装置前面の受電を確認する.(ランプ点灯) 運転スイッチを ON にする.(注意:主電源ではない) ナビフィットをつける.サーモカップル (熱電対) と石英管の差が 320mm になるように調整する.これでサーモカッ プルの先が炉の真ん中に来るようになっている. 
温度データロガーを取り出し，サーモカップルには白金ロジウムを使用しているので，熱電対選択の Type を 設定する.T1 にサーモカップルのコードを挿す.室温が表示される.(時間，PV，TC を記録) 温度データロガーに SD カードを挿入し，REC ENTER を押し，LOGGER OFFSET を押すと測定温度が一定間隔で 自動的に SD カード内にエクセル形式で記録が開始される. 
温度調節計で設定温度を設定する. MODE(オレンジ色) ボタンを押して REMON → SET/ENTER もう一度 MODE ボタンを押して，LOCON → SET/ENTER L.SP 0.0 が表示されたら主電源を ON にする.もし，L.SP の表示が 0.0 じゃない時は，SET/ENTER ボタンを押すと 0.0 が点滅するので，中央の三角矢印のボタンで桁数を選んで 0.0 に設定してから主電源を ON にする. SET/ENTER ボタンを押すと 0.0 が点滅する. 中央の三角矢印のボタンで桁数を選んで温度の設定を行う. この時，炉の設定温度と実際の中の温度が異なるため，関係グラフをみてその値をセットする. SET/ENTER ボタンを押すと数字の点滅がきえ，昇温が開始される. 昇温が開始されると.電流計の電流が流れ，PV の表示温度が上昇する. L.SP の設定温度まで昇温される. 
ここで PV(炉内温度) と TC(サーモカップル温度) と L.SP，OVT(安全装置温度)，C(電流値)，N2(窒素流量)，その時 の時間を確認，記録する. 天井付近の純窒素バルブ (一番右のバルブ) を開ける (設置場所は研 C118 見取り図参照). 
炉の横についている使用する容量のバルブを開ける.流量計の目盛りを確認し，調整バルブで微調整する. 
炉内の温度測定が終わったらサーモカップルを炉内から取り出す. 
試料をデシケーターから取り出す. 石英の引き出し棒を取り出す.電気炉で使う備品は電気炉備品庫に入っている (場所は研 C108 見取り図参照). 溝あり石英ボートに試料を立てて入れ，石英管内に試料を乗せた石英ボートを挿入する.石英ガラスの治具は壊さな いように取り扱いには十分注意し，また汚染にも注意する. 試料が高温になる前に管内を窒素と置換するため，管手前にトレーを置いたら，穴の空いてない石英キャップをつけ， 炉口パージを行う.(時間を記入) 石英キャップに，窒素排気管をつける.この時，力をかけると石英キャップの先が割れるので注意する. 5 分たったら，石英キャップを外して，試料を炉の中央に入れる.引き出し棒と石英管の差が 485mm の地点で中央 に到達する.この時，トレーが傾いて試料が落ちないように注意して入れる.  
石英キャップと窒素排気管をつけて，30 分間アニールする.(開始と終了時間を記入) 終わったら，石英ボートを石英管手前に移動して 10 分間炉口で冷却を行う.(時間を記入) 炉口から石英ボートを取り出し，ガラスシャーレ上に置く. 試料を取り出す.(時間を記入) 試料をデシケーターに戻し，デシケーターを真空引きする. 石英キャップとサーモカップル，引き出し棒，石英ボート等治具を元の位置に戻す. この時，落下防止の為，サーモカップルのコードは，端子を上の網に引っ掛ける. 温度データロガーの OFFSET を押して，REC ENTER を長押しし，記録終了.SD カードを取り出す. 作業が終了したら，L.SP を 0.0 に戻す. 
L.SP が 0.0，電流値 0 を確認して，主電源を切る. 炉の横になる窒素調整バルブ，窒素バルブを閉める. 天井付近にある純窒素バルブを閉める. ガスの元栓を閉める.使用後のガス圧を確認し，記録する. PV が一定温度 (300 度以下) まで下がったことを確認し，運転スイッチを OFF にする. デシケーターのポンプと繋がっている栓を閉じ，ポンプの電源を切る.コンセントを抜き，コードをまとめてしまう. クリーンルームを出る前に，酸素濃度計を OFF にする. 
分電盤 [18-1LP-15-1(動力)] のブレーカー [電気炉] を OFF にする. 使用したガスの 1 次圧を確認，記録し，マグネットをとる.使用者が他にいない場合はガスの元栓を閉める. 
終了 

