SEM手順書
SEM装置を操作するときはナビフィット一重
SEMの中に入れるものはナビフィット二重
1分くらいイオンコーティングする
ディスプレイをつける．
記録表にPCの保守ウインドウに表示されている事項と記入事項を記入する．
ナビフィットをつける
試料を触るときはナビフィットをつける．
試料ホルダーを用意する．
23mmホルダーを使用
SEMの装置を触るときはクリーンガードをつけなければならない
カッパーテープを用意する
ハサミを用意する
ハサミでカッパーテープを線状に切る
ピンセットでカッパーテープを2箇所試料に貼る
ナビフィットを2重につける
測定中に試料が落ちないように
ホルダーに試料を貼る
しっかりとピンセットでカッパーテープを抑える　しっかり貼らないとチャージアップする．
ホルダーと試料がツライチになるように高さを調整する．
PCで試料交換を緑になっていることを確認する．
緑になっていない場合，ピンが試料交換の位置にない
なっていなかったら試料交換ボタンを押す．
ホーム位置はZ38.0
ナビフィットをつける
SEM装置のVENTボタンを長押しする．
点滅が点灯になると開く状態になる
試料ホルダーの矢印とホルダーセットの向きが並行になるようにしてカチッとセットする．
試料室の留め具をつける
EVACを長押し
点滅が点灯に変わったら完了
LLがグレー表示になっていることを確認する
試料を中に送る
送り棒を中に押し込む
過度な力を入れない
金属の部分に触れない
HLDRランプで試料の位置がわかる
点灯しているときは中にある
高さ誤差を選択する
観察をONにする
ジェントルビームモードはすぐチャージアップする試料などを見るときに使う
カラムモードで倍率が変えられる
LOWMAGを押すと低倍率になる
通常倍率では，Zの高さを変えないと見えない
Z座標を高さ誤差＋ワーキングディスタンス(WD)
WDが8.0mmと高さ誤差が0ならZを8.0に調整
左下のつまみで倍率が調整できる
真ん中下のつまみでピントを合わせる
FINEVIEWにすると詳細画像がでる
PHOTOを押すと自動的にFINEVIEWになって写真が保存される．
WOBBでアライメント調整ができる
調整が終わったらPHOTOで保存できる
GBモードでは加速電圧が設定でき，試料への電圧の掛かり方が変わる
SE 二次電子優先　段差，奥行きがはっきり見える
BE 反射電子優先　のっぺりしているが見えやすい
SB 両方
輝度変換のハイフンのボタンを押すとコントラストの調整画面が出て，これでコントラストを調整できる．
WDを適切な倍率で調整すると見やすいというデータがある
観察をOFFにする
ビームガンにシャッターが閉まっていることを確認
ホーム位置に戻す
試料交換位置に戻っていることを確認
試料交換が緑になっていることを確認
ナビフィットをつける
棒を差し込んでLLに試料を戻す
HLDRが消えたことを確認
VENTを長押しする
画面で確認
点滅が点灯に変わったら完了
ナビフィットを2重にして試料ホルダーを取り出す
閉めてEVACを長押しする
画面で確認
点滅が点灯に変わったら完了
試料ホルダーを戻す
試料を剥がしてしまう
カーボンテープを剥がす
試料固定台をしまう
記録表に記録する
ディスプレイを切る
終了