---
# System prepended metadata

title: EL6098 PROYEK AKHIR

---

# EL6098 PROYEK AKHIR 
**23220305 Zefanya Chandra**

Draft paper metal roughness: [draft](https://www.overleaf.com/read/zhdxqcnrdpxc)
Draft paper sidewall profile: [draft](https://www.overleaf.com/read/jtzdzqgkpfrf)
Draft paper final untuk IPC: [draft](https://www.overleaf.com/read/rvnksqkdmckz)

# LOG Minggu 1
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 17 Januari 2022 | Studi literatur <br/> Membaca paper tentang penyerapan cahaya pada struktur grating | | |
| Selasa, 18 Januari 2022 | Studi literatur <br/> Membaca paper tentang penyerapan cahaya pada struktur grating dan pengaruh surface roughness | | |
| Rabu, 19 Januari 2022 | Studi literatur dan setting draft paper overleaf <br/> Membaca paper tentang penyerapan cahaya pada struktur grating dan pengaruh surface roughness | [Tugas1](https://drive.google.com/file/d/1HFLT21UqV5ETEVZtioTktJCOm9n8V6h3/view?usp=sharing)  | |
| Kamis, 20 Januari 2022 | Simulasi surface roughness pada struktur 2D grating | | |
| Jumat, 21 Januari 2022 | Simulasi surface roughness pada struktur 2D grating | Grafik absorpsi Vs panjang gelombang | Perlu dicek lagi batasan nilai sigma dan panjang korelasi |

# LOG Minggu 2
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 24 Januari 2022 | Studi literatur <br/> Mencari paper yang relevan | Menemukan paper tentang struktur grating yang sesuai (https://doi.org/10.1186/s11671-019-2868-3)| |
| Selasa, 25 Januari 2022 | Studi literatur <br/> Clustering paper  | | |
| Rabu, 26 Januari 2022 | Studi literatur <br/> Clustering paper  | |
| Jumat, 28 Januari 2022 | Clustering paper & drafting abstrak | [Tugas2](https://drive.google.com/file/d/1C8OcrSOKdOK_Zrb4DZ6su9VlC12YE0Ky/view?usp=sharing) <br/> [Draft Abstrak](https://docs.google.com/presentation/d/1uISM12Ns91RCglG7gfQpYTKpmtkK1J2T/edit?usp=sharing&ouid=100868833882743217486&rtpof=true&sd=true) | |

# LOG Minggu 3
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 31 Januari 2022 | Baca ulang paper referensi dan fiksasi struktur referensi untuk simulasi pertama (verifikasi) </br> Install software simulasi (Lumerical FDTD dan Charge) | [Struktur](https://drive.google.com/file/d/1tp36HycvKeljoqmRf1xJFw_UPICY3Dlz/view?usp=sharing) | |
| Selasa, 1 Februari 2022 | Setting awal simulasi optik (FDTD) dan simulasi untuk verifikasi desain awal | [Spektrum absorbsi cahaya](https://drive.google.com/file/d/1Ois7mJJh7vp_qb7CEIx2IpU6OqArMR_V/view?usp=sharing) | Tinggi substrat untuk simulasi tidak sepanjang aslinya (referensi), namun tidak terlalu banyak berpengaruh pada profil absorbsi karena mayoritas penyerapan pada metal </br> Masih belum sesuai dengan referensi |
| Rabu, 2 Februari 2022 | Melanjutkan troubleshoot simulasi struktur awal | [Spektrum absorbsi struktur grating terhadap Bulk](https://drive.google.com/file/d/1EoaPPIa6NEDE3hhgcu0jLZ23kG7MK1hw/view?usp=sharing) | Belum menemukan hasil yang sesuai referensi |
| Kamis, 3 Februari 2022 | Membuat introduction | Paragraf 1-2 (lihat overleaf) | |
| Jumat, 4 Februari 2022 | Membuat dan finalisasi introduction | Paragraf 2-3 (lihat overleaf) | |

# LOG Minggu 4
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 7 Februari 2022 | Revisi introduction | Revisi paragraf 1-3 (lihat overleaf) | |
| Selasa, 8 Februari 2022 | Revisi introduction | Revisi paragraf 1-3 dan tambahan paragaraf 4-5 (lihat overleaf) | |
| Rabu, 9 Februari 2022 | Troubleshoot simulasi FDTD </br> Mempelajari dasar-dasar simulasi CHARGE | [Spektrum absorbsi](https://drive.google.com/file/d/1hXQEj8d3asxw4dDL7WUqpWjVJb0S0dhq/view?usp=sharing) puncak pada 981nm (0.37) | Ada kesalahan parameter simulasi: sudut polarisasi di software beda 90 derajat dengan referensi paper |
| Kamis, 10 Februari 2022 | Penulisan metode </br> Mempelajari dasar-dasar simulasi CHARGE | [PPT](https://drive.google.com/file/d/1CWk5ubA47lAmt8rV36ehQIHN3U8NcMvw/view?usp=sharing) </br> [IV / dark current](https://drive.google.com/file/d/1b4y8s79oDL-LNClyytrqMbPPC2mOEwFE/view?usp=sharing) | Hasil belum sesuai (grafik belum menyerupai sifat dioda Schottky)| |
| Jumat, 11 Februari 2022 | Mencoba simulasi dengan CHARGE | [IV / dark current](https://drive.google.com/file/d/1wDNdmEqGgtAwza6ovKsZ7DSjsmYvLQvU/view?usp=sharing) | Belum menggunakan metal Cr, katoda masih diset di Au trench </br> Belum bisa menggabungkan metal Au dengan Cr sebagai kontak atas |

# LOG Minggu 5
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 14 Februari 2022 | Mencari paper referensi tentang surface roughness dan pergeseran resonant wavelength </br> Revisi introduction paragraf 3-4  | Draft di overleaf  |  |
| Selasa, 15 Februari 2022 | Revisi introduction paragraf 4-5 </br> Troubleshoot simulasi FDTD  | Draft di overleaf  |  |
| Rabu, 16 Februari 2022 | Penulisan metode paragraf 1-2 dan pembuatan ilustrasi | Draft di overleaf |  |
| Kamis, 17 Februari 2022 | Penulisan metode paragraf 3-4 dan pembuatan ilustrasi | Draft di overleaf |  |
| Jumat, 18 Februari 2022 | Penentuan performance metrics </br> Troubleshoot simulasi FDTD | [R,T,A](https://drive.google.com/file/d/1bUsRU5UbiIwiqNngOMm6l6QBLeWepohN/view?usp=sharing) | Hasil simulasi sama dengan referensi, namun ada overlap antara Si dengan Au trench |

# LOG Minggu 6
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 21 Februari 2022 | Simulasi charge (variasi kontak) menghitung dark current | [darkcurrent](https://drive.google.com/file/d/1XBsQW5sX-9y6gAFiPz_1G-JN4zj92aTj/view?usp=sharing) |  |
| Selasa, 22 Februari 2022 | Simulasi FDTD: top metal roughness, variasi sigma dan lc | [top rough, sigma](https://drive.google.com/file/d/1gK3JQ8VZlp5PcchyHdMp8jr0kkeNSMsc/view?usp=sharing) </br> [top rough, lc](https://drive.google.com/file/d/1aTwjLL5GAkMNMApF0YOcTXc3OOFGm2ya/view?usp=sharing) | posisi struktur metal harus di adjust tiap ada perubahan parameter roughness (geser) |
| Rabu, 23 Februari 2022 | Simulasi FDTD: trench metal roughness, variasi sigma dan lc | [trench rough, sigma](https://drive.google.com/file/d/1UEW49fV5jmxd-0WpNaNNhiM204UA1qOU/view?usp=sharing) |  |
| Kamis, 24 Februari 2022 | Simulasi FDTD: trench metal roughness, variasi sigma dan lc | [trench rough, lc](https://drive.google.com/file/d/1V32zeMgZOwxkNeDGQWe5sUjJn3crkONF/view?usp=sharing) |  |
| Jumat, 25 Februari 2022 | Simulasi FDTD: top-trench metal roughness, variasi sigma dan lc </br> penulisan result pada paper | [top rough, sigma, lc](https://drive.google.com/file/d/11ehZysikzARbFpIkZRcy2-x8t-FJrBog/view?usp=sharing) </br> [draft Paper 1](https://www.overleaf.com/read/zhdxqcnrdpxc) |  |

# LOG Minggu 7
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 28 Februari 2022 | revisi abstrak, introduction, dan metode untuk draft MWSCAS | [draft Paper 1](https://www.overleaf.com/read/zhdxqcnrdpxc) | |
| Selasa, 1 Maret 2022 | Simulasi carrier generation (smooth vs rough) | [smooth](https://drive.google.com/file/d/1Z1EuqTSl-ouP1G5cPVvAgerP8xckqmJH/view?usp=sharing) </br> [rough](https://drive.google.com/file/d/1TvDA_RoEauaIX88eA-Z8Jd5WZG6VDpVe/view?usp=sharing) | |
| Rabu, 2 Maret 2022 |Revisi flow penulisan metode dan experimental setup, revisi gambar (tulisan diperbesar) | [draft Paper 1](https://www.overleaf.com/read/zhdxqcnrdpxc) | |
| Kamis, 3 Maret 2022 | Memperkecil mesh untuk simulasi carrier generation | [smooth](https://drive.google.com/file/d/1NMLuV6IYWnBBXbVD1sy82hgjloEubIV2/view?usp=sharing) </br> [rough](https://drive.google.com/file/d/1SPsoDnH6he1mkI7LlqniaptzkFtmtkWh/view?usp=sharing)  | |
| Jumat, 4 Maret 2022 | Simulasi IV </br> Penulisan result tambahan, kesimpulan, dan revisi abstrak | [IV](https://drive.google.com/file/d/1kGkRMxOI9NdHhd_fRBthuYlKxUoHzI6P/view?usp=sharing) </br> [draft Paper 1](https://www.overleaf.com/read/zhdxqcnrdpxc)| |

# LOG Minggu 8
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 7 Maret 2022 | revisi paper untuk draft MWSCAS | | |
| Selasa, 8 Maret 2022 | revisi paper untuk draft MWSCAS | | |
| Rabu, 9 Maret 2022 |  revisi paper untuk draft MWSCAS | | |
| Kamis, 10 Maret 2022 |  revisi paper untuk draft MWSCAS | [papermwscas](https://www.overleaf.com/read/dsfrrmbfcpcd) | |
| Jumat, 11 Maret 2022 | studi literatur etching || |

# LOG Minggu 10
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 21 Maret 2022 | Mencari informasi mengenai efek RIE pada profil sidewall | Paper: Simulations of side-wall profiles in reactive ion etching DOI:10.1088/0022-3727/26/4/012 | |
| Selasa, 22 Maret 2022 | Membaca paper efek RIE pada pembentukan waveguide | Paper: Surface Morphology of Silicon Waveguide after Reactive Ion Etching (RIE). https://doi.org/10.3390/coatings9080478 | |
| Rabu, 23 Maret 2022 | Membaca paper mengenai efek DRIE pada profil sidewall | Paper: Low-temperature smoothing method of scalloped DRIE trench by post-dry etching process based on SF6 plasma https://doi.org/10.1186/s40486-020-00116-x | |
| Kamis, 24 Maret 2022 | Membaca paper mengenai layer adhesi Cr pada thin film Au | Paper: Influence of Ti and Cr Adhesion Layers on Ultrathin Au Films https://doi.org/10.1021/acsami.7b10136 | |
| Jumat, 25 Maret 2022 | Membaca paper mengenai efek surface roughness terhadap IPE | Paper: The Role of Surface Roughness in Plasmonic-Assisted Internal Photoemission Schottky Photodetectors https://doi.org/10.1021/acsphotonics.8b00643 | |

# LOG Minggu 11
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Selasa, 29 Maret 2022 | Membaca ulang paper dan menyelesaikan identifikasi topik, deskripsi, kelebihan, dan kekurangan | [paper](https://drive.google.com/file/d/1Ducvzn2gLMp2hDj6fYBixmq5-ZAuhKE6/view?usp=sharing) | |
| Rabu, 30 Maret 2022 | Menentukan daerah pengamatan surface roughness | pada interface Au/Cr/Si dan sidewall grating | |
| Kamis, 31 Maret 2022 | Mengurus izin penggunaan server untuk simulasi | sudah mendapat akses untuk pengajuan jadwal penggunaan server | |
| Jumat, 1 April 2022 | Mempelajari cara mengubah setting surface berdasarkan persamaan |  | https://support.lumerical.com/hc/en-us/articles/1500010819261-Complex-structures-Conformal-coating |

# LOG Minggu 12
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 4 April 2022 | Mempelajari cara setting surface untuk bentuk sidewall RIE dan DRIE (https://support.lumerical.com/hc/en-us/articles/1500010819261-Complex-structures-Conformal-coating) | [shape](https://drive.google.com/file/d/1-wLhKAuTMaRmRjNQ6n8LJkxu31FpXJz3/view?usp=sharing) | |
| Selasa, 5 April 2022 | Simulasi sloped sidewall (RIE) | [sidewall profile](https://drive.google.com/file/d/1shKnCJAjC68Pyqaec_DxH79pXdmJlA2L/view?usp=sharing) </br> [absorption](https://drive.google.com/file/d/1n0aWosJ-ZoZB82zq6zRhizJi_TWtOveV/view?usp=sharing) | Mesh masih terlalu besar, harus diperkecil |
| Rabu, 6 April 2022 | Simulasi sloped sidewall (RIE) | [sidewall profile](https://drive.google.com/file/d/1Zv2lsrciH0KC6m5cioJWFGLGMgKqTMFA/view?usp=sharing) </br> [absorption](https://drive.google.com/file/d/16G_-0nMFcpQqZeCDOVShqEHJlA4PNTqx/view?usp=sharing) | |
| Kamis, 7 April 2022 | Simulasi scalloped sidewall (DRIE) | [sidewall profile](https://drive.google.com/file/d/1tv_BL9pQclhNMxJZpB5vy6u8xOueMSmO/view?usp=sharing) </br> [absorption](https://drive.google.com/file/d/1klHlIaCOSSW8Ub9ilCHvIjUr3wBO1Kij/view?usp=sharing) | hasil tidak konvergen |
| Jumat, 8 April 2022 | Membandingkan hasil | [Ref. Vs RIE](https://drive.google.com/file/d/1Od_yH5hrZoMLTep578MTztaRxyue1lfJ/view?usp=sharing) | |

# LOG Minggu 13
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 11 April 2022 | Memperbaiki meshing order simulasi | | |
| Selasa, 12 April 2022 | Simulasi sloped sidewall (RIE) untuk sudut 90, 85| [spektrum](https://drive.google.com/file/d/1OgYCNTC5M_PL4UcZtm0aGeW8x12x8vxk/view?usp=sharing) |  |
| Rabu, 13 April 2022 | Simulasi sloped sidewall (RIE) untuk sudut 80, 75| [spektrum](https://drive.google.com/file/d/1txGKX9oV_-luced7xlATEWNguZ9YZXkJ/view?usp=sharing) |  |
| Kamis, 14 April 2022 | Simulasi sloped sidewall (RIE) untuk sudut 77.5, 82.5, 87.5 | [spektrum](https://drive.google.com/file/d/1VjJ6BfzAPmQmU6oN7W8i9cspElrkSgET/view?usp=sharing) |  |
| Jumat, 15 April 2022 | Troubleshoot simulasi DRIE |  | Masalah mungkin pada ukuran mesh, coba diset pada kelipatan scallop depth |

# LOG Minggu 14
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 18 April 2022 | Menentukan urutan proses | deposisi metal sebagai mask -> etsa Si -> deposisi metal top dan trench | |
| Selasa, 19 April 2022 | Simulasi struktur scalloped sidewall DRIE | | memperbaiki ukuran mesh |
| Rabu, 20 April 2022 | Simulasi struktur scalloped sidewall DRIE | [5-10 nm](https://drive.google.com/file/d/1O4AiiC-mvtKIMIzuIGOd3aC0av3dP2VQ/view?usp=sharing) | |
| Kamis, 21 April 2022 | Simulasi struktur scalloped sidewall DRIE | [15-20 nm](https://drive.google.com/file/d/1sIT6sWFZFBG0itI9n5YzG5VsY2EVbzU7/view?usp=sharing) | |
| Jumat, 22 April 2022 | Drafting paper | [draft](https://www.overleaf.com/read/jtzdzqgkpfrf) | |

# LOG Minggu 15
| Tanggal | Kegiatan | Hasil | Keterangan|
| ------- | -----  | ----- | -----  |
| Senin, 25 April 2022 | Revisi Simulasi struktur scalloped sidewall DRIE  | | memperbaiki ukuran scallop depth |
| Selasa, 26 April 2022 | Revisi Simulasi struktur scalloped sidewall DRIE  | | memperbaiki ukuran scallop depth |
| Rabu, 27 April 2022 | Revisi Simulasi struktur scalloped sidewall DRIE | [grafik](https://drive.google.com/file/d/1vVYaSEJBPTn8VmGkcHXxpVPF8AWi-OO6/view?usp=sharing) | memperbaiki ukuran scallop depth |
| Kamis, 28 April 2022 | Simulasi struktur RIE (mencari sudut kritis)  |  |  |
| Jumat, 29 April 2022 | Simulasi struktur RIE (mencari sudut kritis)  | [grafik](https://drive.google.com/file/d/1X7q8dswhItXaUk22JMoXG3lgINs9F1N6/view?usp=sharing) |  |