# Understanding Noise and Noise Reduction in CMOS Imaging Sensors [TOC] ## 1. Noise Overview - [Understanding Noise and Noise Reduction in CMOS Imaging Sensors](https://uasal.github.io/spacehardwarehandbook-public/reports/CMOS/CMOS_Noise_Sources.pdf) ```markmap - Signal Noise - 4.1 Photon Shot Noise - Sensor Noise - Temporal Noise - 4.2 Dark Current Noise - 4.2.1 Diffusion Dark Current - 4.2.2 Deplete Region Generation - 4.2.3 Dark Current Shot Noise - 4.3 Transfer Noise - Non-ideal Charge Transfer Noise - 4.4 Electronic Noise - 4.4.1 MOS Transistor Thermal Noise - 4.4.2 kT/C Noise - 4.4.3 1/f Noise - 4.4.4 RTS Noise - 4.4.5 Leakage Current Shot Noise - 4.5 Other Noise - 4.5.1 ADC Quantizing Noise - 4.5.2 System Noise - Spatial Noise - 4.6 Fixed Pattern Noise - 4.6.1 Photo Response Non-Uniformity - 4.6.2 Column Fixed Pattern Noise - 4.6.3 Offset Spatial Variation - 4.6.4 Dark Signal Non-Uniformity - 4.6.5 Dark Current Fixed Pattern Noise ``` ![](https://hackmd.io/_uploads/HJ7iM649ke.png) - $σ_{SHOT}$ 大致對應 Signal noise - 其實 photo shot noise $σ_P$ 只是 shot noise $σ_{SHOT}$ 的一部分,但因為全部的 shot noise 都 follow signal $S$ 的 Possion(結果一樣),所以樹狀圖就只用 photo shot noise 來表達。 - $σ_{READ}$ 大致對應 Temporal noise - 樹狀圖的 Temporal noise 的 $σ_{CTI}$、$σ_{LI}$、$σ_D$ 是屬於 $σ_{SHOT}$ - $σ_{FPN}$ 對應 Spatial noise :::success :bulb: Analog Gain 在哪裡? - **Programmable Gain Amplifiers (PGAs)**:analog gain is primarily applied outside the individual pixel. The amplification occurs within the column-level readout circuitry, which processes signals from multiple pixels. - 而 Analog gain 會將前面的 noise 都一起放大 - 本身也存在自身的內在雜訊 - 所以 Analog gain 在本篇沒有提到,但實際上他是在 4T transister design CDS 之後、ADC 之前才會由作用 Programmable Gain Amplifiers (PGAs) 這個電路放大。 - 書中暗示 A_SF 就是主要的類比增益放大器,這是錯誤,因為 Source Follower 本身不是主要的可調增益來源。 ::: ## 2. Architecture ### 2.1 CMOS Active Pixel Structure - ![](https://hackmd.io/_uploads/SJfys_xcJx.png) - 光二極體(Photodiode):像素中對光敏感的部分。 - 耗盡區(Depletion Region):電子與電洞被消耗的區域。 - 詳細內容可見 https://hackmd.io/TixXEepXTY69dPFWOQw9-A - 勢阱(Potential Well):用於儲存光電子的位置。 - 電子經過 Photodiode 後的區域 - 自由區域(Field Free Area):處於熱平衡的區域。 - 三個輔助電晶體(Three Support Transistors):包括放大電晶體(Amplifier Transistor)、列匯流排電晶體(Column Bus Transistor)與重置電晶體(Reset Transistor)。 - 匯流排(Busses):列選擇匯流排(Row Select Bus)、欄位匯流排(Column Bus)。 - 控制讀取的 pixel 的專屬位置 - 微透鏡(Microlens):聚焦光線進入光二極體(PPD)。 ### 2.2 Photodiode - ![](https://hackmd.io/_uploads/Hy2vQ9eqJe.png) - nPD (Active Photodiode Region) - PPD 的感光區域,光電效應發生的地方。電子就在這裡產生 - GR (Recombination-Generation Center, 複合-生成中心) - 提供可移動的電荷載子 (電子和電洞) 給光電二極體的區域。 - p+ Pinning Layer (鎖定層) - 保護光電二極體,避免來自 GR 區域的熱產生電子干擾;同時創造電場梯度,讓訊號電子能快速漂移到 Potential Well。 - p Well (Potential Well, 位能阱) - 存儲光電子的區域,當光電二極體吸收光後,光電子會被存儲在此。 - TG (Transfer Gate, 轉移閘) - 調控電子的流動,控制從 Potential Well 到 Floating Diffusion (浮動擴散區) 的電子流動。 - 控制方法可見 [How Does a MOSFET Work?](https://www.youtube.com/watch?v=rkbjHNEKcRw) - nFD (Floating Diffusion, 浮動擴散區) - 訊號電子的最終存儲區,在讀取時,電子會累積在此,導致該區的電壓變化(類比訊號),最後透過感測節點 (Sense Node,也就是後方的 transistor structure 的第一部分) 處理,來讀出(read out)像素電壓。 :::success ⚡ 光電子移動的順序 - 光打在 nPD 上,光電效應產生光電子 - 接著因為 p+ Pinning Layer 的電場,克服 nPD 與 p well 之間的 depletion region 使電子加速移動到 p Well (Potential Well) 裡儲存 - 接著因為 TG (Transfer Gate) 給的電壓,使 p Well 與 nFD (Floating Diffusion) 連通,讓電子最後存在 nFD - nFD 電壓改變,等待 Sense Node 來 read out 這個電壓,成為 working voltage。 ::: ### 2.3 Transistor ![](https://hackmd.io/_uploads/Bk5RhqeqJe.png) - 除了上述提到的基礎光子轉電子的 Photodiode,還有 transistor - 用來控制電荷、讀出 readout 架構 - Four Transistor Design - Transfer gate and transfer transister 轉移閘 (TG) 控制電子流入浮動擴散區域 (FD) - Source follower transistor 是一種電壓緩衝器(Voltage Buffer),主要用來提供高輸入阻抗、低輸出阻抗。可以避免訊號衰減並提供驅動能力 - Row select transistor 列選擇電晶體 (MRS) 允許像素訊號傳輸到匯流排 (Column Bus) - Reset transistor 重置電晶體 (MRST) 重置浮動擴散區域的電壓,準備下一次曝光 - 所以應該在 CDS - 匯流排 (Column Bus) 後才會在接上 ADC - **Correlated Double Sampling, CDS** - 在此架構中使用 CDS,是降低感測器讀出噪聲(特別是 Reset noise 和 1/f noise)的技術 1. 第一次取樣(Reset Sampling): - 測量 Reset Noise(即 Read circuit 在還未接受信號時的輸出電壓) - 這一步驟主要捕捉來自 Reset Transistor, RST 的 kTC 雜訊 2. 第二次取樣(Signal + Reset Noise Sampling): - 測量包含 Signal 與 Reset Noise 的電壓值,即電子累積後的輸出訊號。 - $\Rightarrow$ 1. 2. 做 Subtraction - 第二次測量值 - 第一次測量值 = 淨訊號(信號 - Reset Noise)。 - 這樣可以消除重置雜訊,降低 kTC 雜訊的影響。 ### 2.4 Shot noise - ch 4.0 有完整的 noise 架構 ![](https://hackmd.io/_uploads/SkQiVjl91g.png) - 上圖顯示訊號如何流經該架構。而當光子或電子流經某個系統時,它們的數量會有隨機波動,這就產生了 shot noise,這些 photo、electic 都會 follow Possion distribution - 由一系列傳遞函數(transfer functions)組成,每個傳遞函數都與某種物理結構相關,本質上都是增益函數(gain functions)。 - 全部統稱 Shot noise,代表每個 transfer function(物理結構)都會加上 Shot noise 到 signal 裡面 - Semiconductor (Photodiode) - $QE_1$:量子效率(Quantum Efficiency) - 光子撞擊感測器後產生電子的可能性 - $η_1$:量子產額增益(Quantum Yield Gain) - 每個入射光子所產生的電子數量 - 作者假設是1,所以後續 ch4.0 架構裡面 $\sigma_{SHOT}$ 沒有出現 - Transistor design - $A_{SN}$:感測節點增益(Sense Node Gain) - 位於 Floating Diffusion(FD) 區。當電子被轉移至 FD 後,FD 區的電位升高,對應一個可測量的類比電壓。 - $A_{SF}$:源極跟隨器增益(Source Follower Gain) - MSF (Source Follower Transistor, 源極跟隨電晶體),其作用是將感測節點(FD)上的電壓,經過緩衝後輸出至外部。 - $A_{CDS}$:相關雙取樣增益(Correlated Double Sampling Gain) - 對FD 的「重置電壓」(Reset Level)與接收電子後 FD 的「信號電壓」(Signal Level)進行相減,來去除像素的重置雜訊(kTC noise)與部分低頻雜訊(如 1/f flicker noise) - 但相減的過程是在 readout chain 的「欄(column)或晶片(chip)級電路」中進行,已經不在 4T transistor design 裡面。 - ADC - $A_{ADC}$:類比數位轉換增益(Analog to Digital Converter Gain) - 透過column bus 再送至 row bus,傳送並透過 ADC 轉換為數位數值(Digital Numbers) - 每一個階段都會有各自的 Noise parameter - 為什麼 4T transistor design 內都是 shot noise?又為什麼 shot noise 會 follow Poisson Distribution? - **電子是離散的粒子,它們的流動(產生、存儲、轉移、讀出)並不是連續平穩的,而是根據機率統計分佈 Poisson Distribution 來發生。** - 不過,雖然轉換函數 (Transfer Function)會增加 shot noise,但這不是唯一的雜訊來源。後面 ch4.0 會再討論。 ## 3. Mathematical - **Poisson Distribution** - ![](https://hackmd.io/_uploads/Hk5OKCb5Je.png) - X:離散隨機變數,代表在某段時間(或空間)內發生的事件數(例如光子數)。 - λ:平均事件率(mean rate),可視為在該時間或空間範圍內預期發生的事件數。 - ![](https://hackmd.io/_uploads/SJl6YRb9yg.png) - **Quadrature** - ![](https://hackmd.io/_uploads/ry793kGcyg.png) - 將各種不相關的雜訊貢獻以均方根 (RMS) 的方式相加,也就是 Root-Sum-of-Squares。 - 不相關(Uncorrelated)不同來源的雜訊如果彼此無關 (uncorrelated),則各自的變異數 (variance)可以直接相加。雜訊的標準差 $\sigma$ 代表振幅大小,方差 $\sigma^2$ 則代表「雜訊功率」或「雜訊能量」。 - 這種做法又稱在正交(quadrature)中相加,因此多個不同的雜訊源(例如光子散粒雜訊、熱雜訊、電子散粒雜訊、1/f 雜訊等),且它們彼此不相關,整體雜訊就是這種方式合成。 ## 4. Noise Detail ### 4.0 Noise Architecture ![](https://hackmd.io/_uploads/HJ7iM649ke.png) ### 4.1 Photon Shot Noise ($σ_P$) - 影像感測器的應用中,光子到達感測器的過程可用 Poisson 分布來描述 - 每一段時間內,撞擊感測器的光子數是隨機的,但具有平均撞擊率 $λ$ - 影像訊號對應到的就是平均值(Mean) - 標準差則是用來描述「實際量測值在平均值附近的偏離程度」,也就是雜訊 - 雜訊對應到的是標準差(Standard Deviation) - 訊號對雜訊比 $SNR$ - $SNR=\frac{Image}{Noise}=\frac{Mean}{Standeard\ deviation}=\frac{\mu}{\sigma}=\frac{\lambda}{\sqrt{\lambda}}=\sqrt{\lambda}$ - 所以亮度提升,Standard Deviation(圖像噪音)上升,Mean(圖像訊號 Signal)會上升更多,因此整體訊號對雜訊比 $SNR$ 上升 - 所以暗情況噪音比較多 ### 4.2 Dark Current Noise $(σ_D)$ - 指在沒有光照的情況下,感測器內部仍會產生的電荷 1. **Depletion Region Generation** - Depletion Region 內雖然沒有電子或電洞,但會 Hopping Generation 出 trapped 電子與電洞,數量會隨著溫度升高而增加。 - ![](https://hackmd.io/_uploads/rJqXAxfc1x.png) 2. **Diffusion Dark Current** - 自由區域(Field-Free Region)在像素結構底部,可能含有載子。Photodiode 結構本身則有電場,使得該區域的電子會擴散至 Potential Well,並累積形成電流。這種擴散過程的效率也會隨著溫度升高而增加。 3. **Dark Current Shot Noise $σ_D$** - 會因為 1. + 2. 流入 Potential Well 產生穩定的暗電流,這些電子本身的分佈也服從 Poisson Distribution,因此會產生一種 Shot Noise - ![](https://hackmd.io/_uploads/HyKVrWM9Jg.png) - 這裡 follow Possion 的 $x$,不是 photo shot noise 的光子 photo,而是電子 $N_D$,所以不是符合入射光子的 possion。 ### 4.3 Transfer Noise $(σ_{CTI})$ - 電子從 Potential Well 經由 Transfer Gate 轉移至 Floating Diffusion Region, FD 的過程中,由於轉移不完全而產生的噪聲。是 temporal noise。 - [![](https://hackmd.io/_uploads/Skz76WG9ye.png)](https://oro.open.ac.uk/74611/3/Ivory_Image_Lag_PPD_SPIE2020.pdf)就是左邊的情況 1. **Potential Well Non-Ideality** - 因為製造過程不佳,導致 Potential Well 的電場不均勻,電子聚集在 Transfer Gate, TG 附近,造成電荷轉移效率(Charge Transfer Inefficiency, CTI)下降,會導致影像殘影(Image Lag) - 甚至有些電子會回流 Spill Back Lag 2. **Transfer Gate Non-Ideality** - 也是因為製造過程不佳,Transfer Gate 本身的結構缺陷,產生 electric trap,capture 到電子 - 使回流的電子留在 TG 內 - 1.+2. 因為電子受到電場影響,而電荷的轉移效率不是 100%,不均勻的轉移也是一種 current flow,所以也是 Poisson distribution - Transfer Noise 是 temporal shot noise![](https://hackmd.io/_uploads/H15WzMz51x.png) ### 4.4 Electronic Noise $(σ_{SF})$ - Noise 來自讀出電路 readout circuitry(標記為 detector),也就是 transistor design 的部分 1. **Thermal Noise $(σ_{TH})$** - Dark current noise,是因為熱,導致多產生電子的 noise - 而這裡 Thermal Noise 是指原有的電子,被熱所擾動產生的 noise,由熱激發(thermal excitation)所引起。 - 可以類比為電流流經電阻或電容組合電路產生的雜訊。這類雜訊又可分為: - MOS 電晶體熱雜訊(MOS transistor thermal noise):當電流通過 MOSFET 的通道(Channel)時,由於電子與通道內原子的隨機碰撞,會產生電流波動。這種雜訊與 MOSFET 的通道電阻和溫度有關,正常情況下,這個值可以忽略。所以架構圖內沒有出現 $σ_{TH}$,只有出現下方的 $σ_{RESET}$ noise, - MOSFET 指的是4T內的三個關鍵電晶體 Reset Transistor、Source Follower Transistor、Row Select Transistor,而 Photodiode 本身不是 MOSFET - kT/C 雜訊:當 Reset Transistor($M_{RST}$)開啟時,Floating Diffusion(FD)區域的電容 $C_{FD}$ 會被充電。當 Reset Transistor 關閉時,FD 電容內的熱擾動會導致電壓波動,這種波動就是 kT/C 雜訊。 2. **Sense Node Reset Noise $(σ_{RESET})$** - transistor design 架構中,使用相關雙取樣(CDS)技術來消除 kT/C 雜訊。然而,未完全消除的部分仍然會變成像素源跟隨器的雜訊。 3. **1/f Noise $(σ_f)$** - 被稱為 Flicker Noise,頻率越低,雜訊功率越大,因此它被稱為「1/f」。整個影像出現低頻閃爍或亮度變化 - 當載子移動時,由於半導體材料中的到矽與氧化層(Si-SiO₂)界面處的缺陷影響,在介面上漂移與散射,導致電流波動。 4. **RTS Noise $(σ_{RTS})$** - Random Telegraph Signal Noise, RTS 或鹽與胡椒雜訊(Salt and Pepper Noise, SAP)又叫 Impulse Noise - 在 CMOS 製造過程中,介面或晶格缺陷會形成電子陷阱(Electron Traps),所以信號才會隨機在兩個或多個離散電壓值間跳變,就像電報信號(Telegraph Signal)。 這種變化無法預測。 5. **Leakage Current Shot Noise $(σ_{LC})$** - 因為CMOS 製造過程中的隨機誤差,在 Sence node (nFD) 或 Transfer gate 產生不期望的電荷傳輸 undesired charge transport ### 4.5 Other Noise 1. **ADC Quantizing Noise ($σ_{ADC}$)** - 來自於類比訊號轉換為數位訊號時的四捨五入誤差。 - ![](https://hackmd.io/_uploads/B16pv245Jg.png) - AS 是增益(Amplification Gain) - S 是感測器的訊號強度(signal strength) 2. **System Noise ($σ_{SYS}$)** - 可能來自電子元件的不同部分 - Transient Noise(瞬態雜訊)來自突發性的電子干擾,例如電路開關或電壓突變。 - Settling and Ringing Noise(穩定與振鈴雜訊)在電路轉換狀態時,電壓未完全穩定時可能會產生的雜訊。 - Clock Phase Jitter Noise(時脈相位抖動雜訊)來自影像感測器內部時脈訊號的相位誤差,影響影像的取樣準確度。 - Circuit Crosstalk Noise(電路串擾雜訊)當不同的訊號線彼此干擾時,可能會導致額外的雜訊進入影像訊號。 - Power Supply Noise(電源供應雜訊)當電源供應不穩定(如電壓波動)時,可能會影響影像訊號的品質。 - Oscillation Noise(振盪雜訊)來自影像感測器或其電路中不穩定的振盪現象。 ### 4.6 Fixed Pattern Noise $(σ_{FPN})$ - Noise 在同一個 sensor 會隨時間保持一致,但在不同的晶片之間可能會有所變化。 - **Light FPN** - 1. **Photo Response Non-Uniformity ($σ_{PRNU}$)** - 不同像素對光的響應不同 - 主要來自 CMOS 或 CCD 製程關係,導致感測器內部像素之間的量子效率(Quantum Efficiency, QE)的不同、增益變異(Gain Mismatch)和不同像素的最大電子存儲容量(Full-Well Capacity)不同。 - ![](https://hackmd.io/_uploads/Skge82V5Jl.png) - $σ_{PRNU}$:PRNU 的標準差(rms),表示像素之間的光響應變異。 - $P_N$:Fixed Pattern Noise Quality Factor - $S$:入射信號(光子數或電子數)。 - 2. **Column Fixed Pattern Noise ($σ_{CFNU}$)** - 來自於 CMOS 欄位級放大器(CMOS column level amplifiers)增益的不一致 - 通常是通過切換電容放大器(switched capacitor amplifiers)來實現的,因此,這類增益差異主要是電容匹配不良(capacitor mismatch) - 3. **Offset Spatial Variation Noise ($σ_{OFPN}$)** - 像素對相同光照條件的 response 不同,導致某些區域比其他區域更亮或更暗 - 來自於 transfer gate 的結構性差異 - **Dart FPN** - 4. **Dark Signal Non-Uniformity ($σ_{DSNU}$)** - 當感測器在完全黑暗的條件下(無入射光)仍然產生不同的像素電壓變化 - 來自 CMOS 感測器內部像素的偏壓變異,不同像素的有不同的偏壓(bias voltage) - 5. **Dark Current Fixed Pattern Noise ($σ_{DFPN}$)** - 影像感測器在沒有光照的情況下,因為熱擾動或製程變異,電子仍然會被激發並產生信號 - 來自於 Dark Current,即在沒有光照的情況下,感測器內部仍會產生電子,進而影響影像訊號。 - ![](https://hackmd.io/_uploads/rJkJenVckl.png) - $D$ 是單位時間內平均產生的暗電流電子數(以電子數 e⁻ 計算)。 - $D_N$ 是暗電流 FPN 品質因子(Dark Current FPN Quality Factor),其數值範圍通常在 10% 至 40% 之間,代表 CMOS 影像感測器的 DFPN 水準。 ## 5. Combined Effect of Noise ### 5.1 Classification - 將 CMOS 影像感測器內的雜訊分為三大類![](https://hackmd.io/_uploads/HJ7iM649ke.png) 1. **Shot Noise($σ_P$)**:來自光子與電子流動的隨機變動,符合 Poisson 分佈![](https://hackmd.io/_uploads/BkBZ9hNcyl.png)![](https://hackmd.io/_uploads/BkA95h4qJe.png) 2. **Read Noise($σ_READ$)**:來自讀取過程(偵測器、CDS、ADC)的雜訊,屬於時間性雜訊(Temporal Noise)![](https://hackmd.io/_uploads/Sk0z5hNc1x.png)![](https://hackmd.io/_uploads/HyRiq34q1g.png) 3. **Fixed Pattern Noise($σ_FPN$)**:來自 CMOS 像素結構變異的雜訊,屬於空間性雜訊(Spatial Noise)![](https://hackmd.io/_uploads/Hy3m9nE5ke.png)![](https://hackmd.io/_uploads/B1s35h451l.png) - **Combined SNR From All Sources** - ![](https://hackmd.io/_uploads/rkOeQT451x.png) ### 5.2 SNR Slopes - ![](https://hackmd.io/_uploads/SkPNY6V5ye.png) - 實驗 - 橫軸是對 signal 取 log - 縱軸是對 noise 取 log - 斜率(取微分)就是對數尺度下(log-log plot)的 SNR - **低信號區域** - 對 Read noise 的 SNR 在對數尺度下(log-log plot)微分可知,SNR 與信號強度線性成長(斜率 $m=1$),SNR 成長速度為 $S$ - 所以從圖上 slope 判斷可知,受讀取雜訊主導(Read Noise Regime) - **中等信號區域** - 對 Shot Noise 的 SNR 在對數尺度下(log-log plot)微分可知,SNR 與信號強度線性成長(斜率 $m=1/2$),SNR 成長速度為 $S^\frac{1}{2}$ - 所以從圖上 slope 判斷可知,受 Poisson 雜訊主導(Shot Noise Regime) - **高信號區域** - 對 FPN Noise 的 SNR 在對數尺度下(log-log plot)微分可知,SNR 停止成長(斜率 $m=0$),呈現飽和現象 - 所以從圖上 slope 判斷可知,受 FPN 雜訊主導(FPN Regime) - **超高信號區域** - CMOS 感測器達到 Full Well Capacity(飽和容量)時,SNR 不再隨著信號成長 - 因為當像素電荷達到最大時,即使增加曝光量,也無法再增加信號 S,導致 SNR 直接停滯 - 在 log-log plot 上對應 $m=∞$(分母 $\Delta log S = 0$),即一條垂直線,表示信號完全飽和。