# Understanding Noise and Noise Reduction in CMOS Imaging Sensors
[TOC]
## 1. Noise Overview
- [Understanding Noise and Noise Reduction in CMOS Imaging Sensors](https://uasal.github.io/spacehardwarehandbook-public/reports/CMOS/CMOS_Noise_Sources.pdf)
```markmap
- Signal Noise
- 4.1 Photon Shot Noise
- Sensor Noise
- Temporal Noise
- 4.2 Dark Current Noise
- 4.2.1 Diffusion Dark Current
- 4.2.2 Deplete Region Generation
- 4.2.3 Dark Current Shot Noise
- 4.3 Transfer Noise
- Non-ideal Charge Transfer Noise
- 4.4 Electronic Noise
- 4.4.1 MOS Transistor Thermal Noise
- 4.4.2 kT/C Noise
- 4.4.3 1/f Noise
- 4.4.4 RTS Noise
- 4.4.5 Leakage Current Shot Noise
- 4.5 Other Noise
- 4.5.1 ADC Quantizing Noise
- 4.5.2 System Noise
- Spatial Noise
- 4.6 Fixed Pattern Noise
- 4.6.1 Photo Response Non-Uniformity
- 4.6.2 Column Fixed Pattern Noise
- 4.6.3 Offset Spatial Variation
- 4.6.4 Dark Signal Non-Uniformity
- 4.6.5 Dark Current Fixed Pattern Noise
```

- $σ_{SHOT}$ 大致對應 Signal noise
- 其實 photo shot noise $σ_P$ 只是 shot noise $σ_{SHOT}$ 的一部分,但因為全部的 shot noise 都 follow signal $S$ 的 Possion(結果一樣),所以樹狀圖就只用 photo shot noise 來表達。
- $σ_{READ}$ 大致對應 Temporal noise
- 樹狀圖的 Temporal noise 的 $σ_{CTI}$、$σ_{LI}$、$σ_D$ 是屬於 $σ_{SHOT}$
- $σ_{FPN}$ 對應 Spatial noise
:::success
:bulb: Analog Gain 在哪裡?
- **Programmable Gain Amplifiers (PGAs)**:analog gain is primarily applied outside the individual pixel. The amplification occurs within the column-level readout circuitry, which processes signals from multiple pixels.
- 而 Analog gain 會將前面的 noise 都一起放大
- 本身也存在自身的內在雜訊
- 所以 Analog gain 在本篇沒有提到,但實際上他是在 4T transister design CDS 之後、ADC 之前才會由作用 Programmable Gain Amplifiers (PGAs) 這個電路放大。
- 書中暗示 A_SF 就是主要的類比增益放大器,這是錯誤,因為 Source Follower 本身不是主要的可調增益來源。
:::
## 2. Architecture
### 2.1 CMOS Active Pixel Structure
- 
- 光二極體(Photodiode):像素中對光敏感的部分。
- 耗盡區(Depletion Region):電子與電洞被消耗的區域。
- 詳細內容可見 https://hackmd.io/TixXEepXTY69dPFWOQw9-A
- 勢阱(Potential Well):用於儲存光電子的位置。
- 電子經過 Photodiode 後的區域
- 自由區域(Field Free Area):處於熱平衡的區域。
- 三個輔助電晶體(Three Support Transistors):包括放大電晶體(Amplifier Transistor)、列匯流排電晶體(Column Bus Transistor)與重置電晶體(Reset Transistor)。
- 匯流排(Busses):列選擇匯流排(Row Select Bus)、欄位匯流排(Column Bus)。
- 控制讀取的 pixel 的專屬位置
- 微透鏡(Microlens):聚焦光線進入光二極體(PPD)。
### 2.2 Photodiode
- 
- nPD (Active Photodiode Region)
- PPD 的感光區域,光電效應發生的地方。電子就在這裡產生
- GR (Recombination-Generation Center, 複合-生成中心)
- 提供可移動的電荷載子 (電子和電洞) 給光電二極體的區域。
- p+ Pinning Layer (鎖定層)
- 保護光電二極體,避免來自 GR 區域的熱產生電子干擾;同時創造電場梯度,讓訊號電子能快速漂移到 Potential Well。
- p Well (Potential Well, 位能阱)
- 存儲光電子的區域,當光電二極體吸收光後,光電子會被存儲在此。
- TG (Transfer Gate, 轉移閘)
- 調控電子的流動,控制從 Potential Well 到 Floating Diffusion (浮動擴散區) 的電子流動。
- 控制方法可見 [How Does a MOSFET Work?](https://www.youtube.com/watch?v=rkbjHNEKcRw)
- nFD (Floating Diffusion, 浮動擴散區)
- 訊號電子的最終存儲區,在讀取時,電子會累積在此,導致該區的電壓變化(類比訊號),最後透過感測節點 (Sense Node,也就是後方的 transistor structure 的第一部分) 處理,來讀出(read out)像素電壓。
:::success
⚡ 光電子移動的順序
- 光打在 nPD 上,光電效應產生光電子
- 接著因為 p+ Pinning Layer 的電場,克服 nPD 與 p well 之間的 depletion region 使電子加速移動到 p Well (Potential Well) 裡儲存
- 接著因為 TG (Transfer Gate) 給的電壓,使 p Well 與 nFD (Floating Diffusion) 連通,讓電子最後存在 nFD
- nFD 電壓改變,等待 Sense Node 來 read out 這個電壓,成為 working voltage。
:::
### 2.3 Transistor

- 除了上述提到的基礎光子轉電子的 Photodiode,還有 transistor
- 用來控制電荷、讀出 readout 架構
- Four Transistor Design
- Transfer gate and transfer transister 轉移閘 (TG) 控制電子流入浮動擴散區域 (FD)
- Source follower transistor 是一種電壓緩衝器(Voltage Buffer),主要用來提供高輸入阻抗、低輸出阻抗。可以避免訊號衰減並提供驅動能力
- Row select transistor 列選擇電晶體 (MRS) 允許像素訊號傳輸到匯流排 (Column Bus)
- Reset transistor 重置電晶體 (MRST) 重置浮動擴散區域的電壓,準備下一次曝光
- 所以應該在 CDS
- 匯流排 (Column Bus) 後才會在接上 ADC
- **Correlated Double Sampling, CDS**
- 在此架構中使用 CDS,是降低感測器讀出噪聲(特別是 Reset noise 和 1/f noise)的技術
1. 第一次取樣(Reset Sampling):
- 測量 Reset Noise(即 Read circuit 在還未接受信號時的輸出電壓)
- 這一步驟主要捕捉來自 Reset Transistor, RST 的 kTC 雜訊
2. 第二次取樣(Signal + Reset Noise Sampling):
- 測量包含 Signal 與 Reset Noise 的電壓值,即電子累積後的輸出訊號。
- $\Rightarrow$ 1. 2. 做 Subtraction
- 第二次測量值 - 第一次測量值 = 淨訊號(信號 - Reset Noise)。
- 這樣可以消除重置雜訊,降低 kTC 雜訊的影響。
### 2.4 Shot noise
- ch 4.0 有完整的 noise 架構

- 上圖顯示訊號如何流經該架構。而當光子或電子流經某個系統時,它們的數量會有隨機波動,這就產生了 shot noise,這些 photo、electic 都會 follow Possion distribution
- 由一系列傳遞函數(transfer functions)組成,每個傳遞函數都與某種物理結構相關,本質上都是增益函數(gain functions)。
- 全部統稱 Shot noise,代表每個 transfer function(物理結構)都會加上 Shot noise 到 signal 裡面
- Semiconductor (Photodiode)
- $QE_1$:量子效率(Quantum Efficiency)
- 光子撞擊感測器後產生電子的可能性
- $η_1$:量子產額增益(Quantum Yield Gain)
- 每個入射光子所產生的電子數量
- 作者假設是1,所以後續 ch4.0 架構裡面 $\sigma_{SHOT}$ 沒有出現
- Transistor design
- $A_{SN}$:感測節點增益(Sense Node Gain)
- 位於 Floating Diffusion(FD) 區。當電子被轉移至 FD 後,FD 區的電位升高,對應一個可測量的類比電壓。
- $A_{SF}$:源極跟隨器增益(Source Follower Gain)
- MSF (Source Follower Transistor, 源極跟隨電晶體),其作用是將感測節點(FD)上的電壓,經過緩衝後輸出至外部。
- $A_{CDS}$:相關雙取樣增益(Correlated Double Sampling Gain)
- 對FD 的「重置電壓」(Reset Level)與接收電子後 FD 的「信號電壓」(Signal Level)進行相減,來去除像素的重置雜訊(kTC noise)與部分低頻雜訊(如 1/f flicker noise)
- 但相減的過程是在 readout chain 的「欄(column)或晶片(chip)級電路」中進行,已經不在 4T transistor design 裡面。
- ADC
- $A_{ADC}$:類比數位轉換增益(Analog to Digital Converter Gain)
- 透過column bus 再送至 row bus,傳送並透過 ADC 轉換為數位數值(Digital Numbers)
- 每一個階段都會有各自的 Noise parameter
- 為什麼 4T transistor design 內都是 shot noise?又為什麼 shot noise 會 follow Poisson Distribution?
- **電子是離散的粒子,它們的流動(產生、存儲、轉移、讀出)並不是連續平穩的,而是根據機率統計分佈 Poisson Distribution 來發生。**
- 不過,雖然轉換函數 (Transfer Function)會增加 shot noise,但這不是唯一的雜訊來源。後面 ch4.0 會再討論。
## 3. Mathematical
- **Poisson Distribution**
- 
- X:離散隨機變數,代表在某段時間(或空間)內發生的事件數(例如光子數)。
- λ:平均事件率(mean rate),可視為在該時間或空間範圍內預期發生的事件數。
- 
- **Quadrature**
- 
- 將各種不相關的雜訊貢獻以均方根 (RMS) 的方式相加,也就是 Root-Sum-of-Squares。
- 不相關(Uncorrelated)不同來源的雜訊如果彼此無關 (uncorrelated),則各自的變異數 (variance)可以直接相加。雜訊的標準差 $\sigma$ 代表振幅大小,方差 $\sigma^2$ 則代表「雜訊功率」或「雜訊能量」。
- 這種做法又稱在正交(quadrature)中相加,因此多個不同的雜訊源(例如光子散粒雜訊、熱雜訊、電子散粒雜訊、1/f 雜訊等),且它們彼此不相關,整體雜訊就是這種方式合成。
## 4. Noise Detail
### 4.0 Noise Architecture

### 4.1 Photon Shot Noise ($σ_P$)
- 影像感測器的應用中,光子到達感測器的過程可用 Poisson 分布來描述
- 每一段時間內,撞擊感測器的光子數是隨機的,但具有平均撞擊率 $λ$
- 影像訊號對應到的就是平均值(Mean)
- 標準差則是用來描述「實際量測值在平均值附近的偏離程度」,也就是雜訊
- 雜訊對應到的是標準差(Standard Deviation)
- 訊號對雜訊比 $SNR$
- $SNR=\frac{Image}{Noise}=\frac{Mean}{Standeard\ deviation}=\frac{\mu}{\sigma}=\frac{\lambda}{\sqrt{\lambda}}=\sqrt{\lambda}$
- 所以亮度提升,Standard Deviation(圖像噪音)上升,Mean(圖像訊號 Signal)會上升更多,因此整體訊號對雜訊比 $SNR$ 上升
- 所以暗情況噪音比較多
### 4.2 Dark Current Noise $(σ_D)$
- 指在沒有光照的情況下,感測器內部仍會產生的電荷
1. **Depletion Region Generation**
- Depletion Region 內雖然沒有電子或電洞,但會 Hopping Generation 出 trapped 電子與電洞,數量會隨著溫度升高而增加。
- 
2. **Diffusion Dark Current**
- 自由區域(Field-Free Region)在像素結構底部,可能含有載子。Photodiode 結構本身則有電場,使得該區域的電子會擴散至 Potential Well,並累積形成電流。這種擴散過程的效率也會隨著溫度升高而增加。
3. **Dark Current Shot Noise $σ_D$**
- 會因為 1. + 2. 流入 Potential Well 產生穩定的暗電流,這些電子本身的分佈也服從 Poisson Distribution,因此會產生一種 Shot Noise
- 
- 這裡 follow Possion 的 $x$,不是 photo shot noise 的光子 photo,而是電子 $N_D$,所以不是符合入射光子的 possion。
### 4.3 Transfer Noise $(σ_{CTI})$
- 電子從 Potential Well 經由 Transfer Gate 轉移至 Floating Diffusion Region, FD 的過程中,由於轉移不完全而產生的噪聲。是 temporal noise。
- [](https://oro.open.ac.uk/74611/3/Ivory_Image_Lag_PPD_SPIE2020.pdf)就是左邊的情況
1. **Potential Well Non-Ideality**
- 因為製造過程不佳,導致 Potential Well 的電場不均勻,電子聚集在 Transfer Gate, TG 附近,造成電荷轉移效率(Charge Transfer Inefficiency, CTI)下降,會導致影像殘影(Image Lag)
- 甚至有些電子會回流 Spill Back Lag
2. **Transfer Gate Non-Ideality**
- 也是因為製造過程不佳,Transfer Gate 本身的結構缺陷,產生 electric trap,capture 到電子
- 使回流的電子留在 TG 內
- 1.+2. 因為電子受到電場影響,而電荷的轉移效率不是 100%,不均勻的轉移也是一種 current flow,所以也是 Poisson distribution
- Transfer Noise 是 temporal shot noise
### 4.4 Electronic Noise $(σ_{SF})$
- Noise 來自讀出電路 readout circuitry(標記為 detector),也就是 transistor design 的部分
1. **Thermal Noise $(σ_{TH})$**
- Dark current noise,是因為熱,導致多產生電子的 noise
- 而這裡 Thermal Noise 是指原有的電子,被熱所擾動產生的 noise,由熱激發(thermal excitation)所引起。
- 可以類比為電流流經電阻或電容組合電路產生的雜訊。這類雜訊又可分為:
- MOS 電晶體熱雜訊(MOS transistor thermal noise):當電流通過 MOSFET 的通道(Channel)時,由於電子與通道內原子的隨機碰撞,會產生電流波動。這種雜訊與 MOSFET 的通道電阻和溫度有關,正常情況下,這個值可以忽略。所以架構圖內沒有出現 $σ_{TH}$,只有出現下方的 $σ_{RESET}$ noise,
- MOSFET 指的是4T內的三個關鍵電晶體 Reset Transistor、Source Follower Transistor、Row Select Transistor,而 Photodiode 本身不是 MOSFET
- kT/C 雜訊:當 Reset Transistor($M_{RST}$)開啟時,Floating Diffusion(FD)區域的電容 $C_{FD}$ 會被充電。當 Reset Transistor 關閉時,FD 電容內的熱擾動會導致電壓波動,這種波動就是 kT/C 雜訊。
2. **Sense Node Reset Noise $(σ_{RESET})$**
- transistor design 架構中,使用相關雙取樣(CDS)技術來消除 kT/C 雜訊。然而,未完全消除的部分仍然會變成像素源跟隨器的雜訊。
3. **1/f Noise $(σ_f)$**
- 被稱為 Flicker Noise,頻率越低,雜訊功率越大,因此它被稱為「1/f」。整個影像出現低頻閃爍或亮度變化
- 當載子移動時,由於半導體材料中的到矽與氧化層(Si-SiO₂)界面處的缺陷影響,在介面上漂移與散射,導致電流波動。
4. **RTS Noise $(σ_{RTS})$**
- Random Telegraph Signal Noise, RTS 或鹽與胡椒雜訊(Salt and Pepper Noise, SAP)又叫 Impulse Noise
- 在 CMOS 製造過程中,介面或晶格缺陷會形成電子陷阱(Electron Traps),所以信號才會隨機在兩個或多個離散電壓值間跳變,就像電報信號(Telegraph Signal)。
這種變化無法預測。
5. **Leakage Current Shot Noise $(σ_{LC})$**
- 因為CMOS 製造過程中的隨機誤差,在 Sence node (nFD) 或 Transfer gate 產生不期望的電荷傳輸 undesired charge transport
### 4.5 Other Noise
1. **ADC Quantizing Noise ($σ_{ADC}$)**
- 來自於類比訊號轉換為數位訊號時的四捨五入誤差。
- 
- AS 是增益(Amplification Gain)
- S 是感測器的訊號強度(signal strength)
2. **System Noise ($σ_{SYS}$)**
- 可能來自電子元件的不同部分
- Transient Noise(瞬態雜訊)來自突發性的電子干擾,例如電路開關或電壓突變。
- Settling and Ringing Noise(穩定與振鈴雜訊)在電路轉換狀態時,電壓未完全穩定時可能會產生的雜訊。
- Clock Phase Jitter Noise(時脈相位抖動雜訊)來自影像感測器內部時脈訊號的相位誤差,影響影像的取樣準確度。
- Circuit Crosstalk Noise(電路串擾雜訊)當不同的訊號線彼此干擾時,可能會導致額外的雜訊進入影像訊號。
- Power Supply Noise(電源供應雜訊)當電源供應不穩定(如電壓波動)時,可能會影響影像訊號的品質。
- Oscillation Noise(振盪雜訊)來自影像感測器或其電路中不穩定的振盪現象。
### 4.6 Fixed Pattern Noise $(σ_{FPN})$
- Noise 在同一個 sensor 會隨時間保持一致,但在不同的晶片之間可能會有所變化。
- **Light FPN**
- 1. **Photo Response Non-Uniformity ($σ_{PRNU}$)**
- 不同像素對光的響應不同
- 主要來自 CMOS 或 CCD 製程關係,導致感測器內部像素之間的量子效率(Quantum Efficiency, QE)的不同、增益變異(Gain Mismatch)和不同像素的最大電子存儲容量(Full-Well Capacity)不同。
- 
- $σ_{PRNU}$:PRNU 的標準差(rms),表示像素之間的光響應變異。
- $P_N$:Fixed Pattern Noise Quality Factor
- $S$:入射信號(光子數或電子數)。
- 2. **Column Fixed Pattern Noise ($σ_{CFNU}$)**
- 來自於 CMOS 欄位級放大器(CMOS column level amplifiers)增益的不一致
- 通常是通過切換電容放大器(switched capacitor amplifiers)來實現的,因此,這類增益差異主要是電容匹配不良(capacitor mismatch)
- 3. **Offset Spatial Variation Noise ($σ_{OFPN}$)**
- 像素對相同光照條件的 response 不同,導致某些區域比其他區域更亮或更暗
- 來自於 transfer gate 的結構性差異
- **Dart FPN**
- 4. **Dark Signal Non-Uniformity ($σ_{DSNU}$)**
- 當感測器在完全黑暗的條件下(無入射光)仍然產生不同的像素電壓變化
- 來自 CMOS 感測器內部像素的偏壓變異,不同像素的有不同的偏壓(bias voltage)
- 5. **Dark Current Fixed Pattern Noise ($σ_{DFPN}$)**
- 影像感測器在沒有光照的情況下,因為熱擾動或製程變異,電子仍然會被激發並產生信號
- 來自於 Dark Current,即在沒有光照的情況下,感測器內部仍會產生電子,進而影響影像訊號。
- 
- $D$ 是單位時間內平均產生的暗電流電子數(以電子數 e⁻ 計算)。
- $D_N$ 是暗電流 FPN 品質因子(Dark Current FPN Quality Factor),其數值範圍通常在 10% 至 40% 之間,代表 CMOS 影像感測器的 DFPN 水準。
## 5. Combined Effect of Noise
### 5.1 Classification
- 將 CMOS 影像感測器內的雜訊分為三大類
1. **Shot Noise($σ_P$)**:來自光子與電子流動的隨機變動,符合 Poisson 分佈
2. **Read Noise($σ_READ$)**:來自讀取過程(偵測器、CDS、ADC)的雜訊,屬於時間性雜訊(Temporal Noise)
3. **Fixed Pattern Noise($σ_FPN$)**:來自 CMOS 像素結構變異的雜訊,屬於空間性雜訊(Spatial Noise)
- **Combined SNR From All Sources**
- 
### 5.2 SNR Slopes
- 
- 實驗
- 橫軸是對 signal 取 log
- 縱軸是對 noise 取 log
- 斜率(取微分)就是對數尺度下(log-log plot)的 SNR
- **低信號區域**
- 對 Read noise 的 SNR 在對數尺度下(log-log plot)微分可知,SNR 與信號強度線性成長(斜率 $m=1$),SNR 成長速度為 $S$
- 所以從圖上 slope 判斷可知,受讀取雜訊主導(Read Noise Regime)
- **中等信號區域**
- 對 Shot Noise 的 SNR 在對數尺度下(log-log plot)微分可知,SNR 與信號強度線性成長(斜率 $m=1/2$),SNR 成長速度為 $S^\frac{1}{2}$
- 所以從圖上 slope 判斷可知,受 Poisson 雜訊主導(Shot Noise Regime)
- **高信號區域**
- 對 FPN Noise 的 SNR 在對數尺度下(log-log plot)微分可知,SNR 停止成長(斜率 $m=0$),呈現飽和現象
- 所以從圖上 slope 判斷可知,受 FPN 雜訊主導(FPN Regime)
- **超高信號區域**
- CMOS 感測器達到 Full Well Capacity(飽和容量)時,SNR 不再隨著信號成長
- 因為當像素電荷達到最大時,即使增加曝光量,也無法再增加信號 S,導致 SNR 直接停滯
- 在 log-log plot 上對應 $m=∞$(分母 $\Delta log S = 0$),即一條垂直線,表示信號完全飽和。